德國分析儀器推出的多功能X射線熒光光譜儀（XRMF）適合于微小樣品及微小區(qū)域的元素分析，分析樣品的形態(tài)可以為固體或液體，分析過程對樣品沒有損害。儀器的樣品臺采用XYZ三軸步進馬達驅(qū)動，可對大到250*250mm(10*10 樣品的表面進行線性掃描和元素分布分析。專門設(shè)計的樣品室，可適用于超大尺寸的樣品分析，可在三個不同的方向觀測樣品。樣品臺可以整體拉出，便于調(diào)節(jié)樣品位置。儀器內(nèi)設(shè)有大倍率變焦雙攝像系統(tǒng)，可準確地確定測量位置。儀器可以鎖定樣品的某個點或表面某個區(qū)域，然后進行掃描分析。配有獨特的軟件可評估測量點，并將所選定樣品區(qū)域內(nèi)的元素成分以圖表形式顯示出來。 配有高分辨的檢測系統(tǒng)，并采用點對點激發(fā)，確保了儀器優(yōu)異的分析性能。通過程序控制的四種準直系統(tǒng),可根據(jù)不同分析要求，來調(diào)節(jié)元素分布分析的分辨率。在單位時間內(nèi)接收的熒光脈沖數(shù)量比傳統(tǒng)技術(shù)多2倍，這樣就可以在短短的幾個小時內(nèi)完成深入細致的元素分布分析。對于鈉等輕元素的分析，可采用在分析點充入氦氣的方法進行分析。也非常適合于未知樣品的點的快速分析，在2分鐘內(nèi)即可完成從鈉到鈾的全分析。 不僅是生產(chǎn)過程中理想的分析儀器，也適合各種科學研究和實驗室分析，它可以分析體積很小的樣品、研究材料組成，測定樣品表面的元素成分等。