該控制器應(yīng)用于濺射鍍膜領(lǐng)域(工具鍍、裝飾鍍膜等等)功能:1、實現(xiàn)鍍膜區(qū)的均勻性、穩(wěn)定性;2、提高鍍膜效率;原理:通過監(jiān)控靶的等離子強度,作為反饋信號來控制濺射反應(yīng)流量計(最好是MKS流量計)來控制反應(yīng)氣體的流量,從而實現(xiàn)濺射鍍膜區(qū)的均勻性和穩(wěn)定性。主要產(chǎn)品:兩路控制(一路光纖,一路靶電壓控制)mini版控制器,如以下圖所示: 八路控制(三路光纖,五路靶電壓),可根據(jù)客戶具體要求訂做。