氬氣是大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)單晶硅的保護氣，它的要求之高，是控制經(jīng)營成本必須重視的一個重要方面。 將排出含有雜質(zhì)的氬氣，除去固體雜質(zhì)，經(jīng)緩沖罐進入氬氣壓縮機升壓,，經(jīng)氬氣純化設(shè)備。采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑，在一定溫度下，吸氣劑可于氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩(wěn)定的化合物或固溶體，從而達到對氬氣精制的目的。最后將凈化后的氬氣送入使用地點.