001，002和003A型質(zhì)量流量控制閥門都是常閉的比例控制閥門，可應(yīng)用在從0-5sccm到0-500slpm氮?dú)饬砍讨?。?dāng)它與質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合使用時(shí)，就可構(gòu)成一個(gè)閉合回路控制系統(tǒng),該系統(tǒng)允許單獨(dú)組件配置（流量計(jì)和控制閥門）。001型，002型，003A型質(zhì)量流量控制閥門技術(shù)參數(shù)流量范圍*：從0-5SCCM到0-500SLPM環(huán)境和操作溫度：-10～70℃（14～158℉）最大操作壓力：1000PSIG（6.9MPa），具體請參考表一安裝方向：對位置不敏感額定工作電壓：4-11VDC（最大24VDC）額定工作電流：150mADC（最大275mADC）閥線圈電阻：80 4 （001型和003A型）；63 3 （002型）重量：請參考表一結(jié)構(gòu)材質(zhì)主體：316不銹鋼孔：316不銹鋼閥組件（接液）：001型：302SS，316SS，430FSS，Sandvik?1802002型：302SS，316SS，Sandvik1802003A型：302SS，316SS，430FSS，Sandvik1802密封材質(zhì)（ O 型環(huán)和閥座）：001型：BunaN，EPDM，Kalrez，Neoprene，Viton002型：BunaN，EPDM，Kalrez，Neoprene，Viton003A型：BunaN，Viton*注：上述流量范圍反映的是氮?dú)鈽?biāo)定下產(chǎn)生的最小流量和最大流量，可采用其它介質(zhì)的流量范圍，當(dāng)操作參數(shù)有疑問時(shí)為了保證選型，請咨詢廠家。