FS1015氣體質量流量傳感器 產品簡介：FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。產品特點：專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設計 高靈敏度，應用熱式質量流量計原理可測量最低至8mm/sec的流體流量 無旁通結構，低壓損 傳感器的零點穩(wěn)定度高經消毒液殺菌處理后可重復使用自動轉換量程的開關設計提高了測量精度 主機設備上的用戶界面可輕松實現(xiàn)線性輸出技術參數(shù)：產品FS1015CL單位流量范圍0~150SLPM精度 (1.5 0.1FS)%重復性 0.75%響應時間10（Max.）msec工作電壓5 1%Vdc輸出方式線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc 最大壓損500Pa最大工作壓力0.2MPa工作溫度-10~55oC儲存溫度-20~65oC工作濕度 95(無結冰、無凝露)%RH機械接口（入口:外;出口:內）；ISO-15 機械尺寸：