Nikon 已推出由行程 15m m 至 100m m 的高度計(jì) Digimicro ，精度在 0.7 um 至 3um 內(nèi)，可搭配各式平臺(tái)及測(cè)針使用，適用與精密模具業(yè)、電子半導(dǎo)體業(yè)， 模具加工業(yè)等。 機(jī)型 測(cè)量行程 精度 可承受速度 最小讀取值 擴(kuò)充性 MF-1001 0-100mm 3um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC MF-501 0-50mm 1um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC MH-15M 0-15mm 0.7um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC 平臺(tái) 型式 材質(zhì) 平臺(tái)尺寸 MS-11C 陶瓷 110X 110mm MS-21 鑄鐵 150X 150mm MS-31G 花崗石 120X 180mm MS-4G 花崗石 400X 300mm MS-5C 陶瓷 直徑100mm