產(chǎn)品品牌：廣州弗魯克

產(chǎn)品型號(hào)：FRO-500

微電子超純水處理

用戶(hù)	水源	源水水質(zhì)特點(diǎn)	出水用途	出水水質(zhì)	關(guān)鍵工藝設(shè)備
半導(dǎo)體工廠新材料工廠	自來(lái)水	附合國(guó)家飲用水標(biāo)準(zhǔn)	硅晶片沖洗水新材料生產(chǎn)水	18.2MΩ/cm @25℃； 出水溶解氧含量小于10ppb；其它指標(biāo)符合國(guó)家電子級(jí)水EW-1標(biāo)準(zhǔn)	過(guò)濾器、軟水器、RO反滲透膜、陰床、陽(yáng)床、混床、紫外線消毒器

超純水處理 超純水系統(tǒng)分為預(yù)處理、反滲透系統(tǒng)、精脫鹽系統(tǒng)及產(chǎn)品水儲(chǔ)存輸送系統(tǒng)等部分。設(shè)計(jì)原則 1.操作安全、運(yùn)行穩(wěn)定、易于管理2.具備完善、可靠的自我保護(hù)功能3.具備良好的故障恢復(fù)性能4.具備最佳運(yùn)行狀態(tài)重現(xiàn)性系統(tǒng)階段質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)(25°C) 1.一級(jí)反滲透產(chǎn)水電阻率 ρ＞0.1MΩ.cm2.二級(jí)反滲透產(chǎn)水電阻率 ρ＞1.0MΩ.cm3.EDI電脫鹽產(chǎn)水電阻率 ρ＞15.0MΩ.cm4.產(chǎn)品水電阻率 ρ＞18.0MΩ.cm系統(tǒng)階段性能 1.一級(jí)反滲透RO系統(tǒng)水利用率 ≥75％2.二級(jí)反滲透RO系統(tǒng)水利用率 ≥85％3.EDI電脫鹽系統(tǒng)水利用率≥90％4.產(chǎn)品水電阻率 ＞18.0MΩ.cm5.RO膜使用壽命不低于3年，三年后RO膜脫鹽率＞95％EDI膜塊使用壽命不低于3年 流程圖 主要設(shè)備索引 多介質(zhì)過(guò)濾器活性炭過(guò)濾器精密過(guò)濾器全自動(dòng)軟水器RO反滲透膜混床UF超濾UV紫外線消毒器水箱 純水和膜處理工藝 在純水處理、尤其是超純水處理工藝中，各種膜處理工藝被廣泛地使用。不同的過(guò)濾器能濾除對(duì)應(yīng)的雜質(zhì)。每種膜處理設(shè)備都有各自的進(jìn)水要求，所以，純水處理工藝都是用低級(jí)別的過(guò)濾設(shè)備作為高級(jí)別過(guò)濾器的前級(jí)。經(jīng)過(guò)RO反滲透的水，其中鹽分被過(guò)濾掉，才能測(cè)量出水的電阻率出現(xiàn)升高。對(duì)于超純水需要二級(jí)反滲透才能滿(mǎn)足要求。