等傾、等厚干涉的綜合演示，干涉的應(yīng)用 （臺式）0.55m 0.35m 0.3m，分束器和補(bǔ)償板平面度 1/20波長，動鏡移動最小讀書值0.0005mm，動鏡行程10mm（粗調(diào)）、0.25mm（細(xì)調(diào)），激光器輸出功率0.7～1mW。