一、技術(shù)參數(shù)行程范圍：X軸------700mmY軸------800mmZ軸------600mm結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式傳動(dòng)方式：柔性齒同步帶+預(yù)載荷高精度空氣軸承長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW（英國(guó)）開(kāi)放式光柵尺，分辨率為0.5 m機(jī)臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái)使用環(huán)境：溫度(20 2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min 120L/min整機(jī)尺寸：1.7mX1.9mX2.7m機(jī)臺(tái)承重：750kg整機(jī)重量：950kg控制及探針測(cè)量系統(tǒng)：1．驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直流伺服電機(jī)(日本)2．控制系統(tǒng)：Renishaw（英國(guó)）UCC3．操作方式：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制+微電腦操縱盒4．控制軟件：SEREINDMISV2.05．探測(cè)系統(tǒng)：Renishaw（英國(guó)）MH20i+TP20（標(biāo)準(zhǔn)配置）6．測(cè)量不確定度（E）：（3+L/300） m二、機(jī)械特點(diǎn) 1．整機(jī)設(shè)計(jì)采用單邊活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)緊湊，大幅降低了活動(dòng)框架的重量，顯著提高了系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)性能，確保了測(cè)量精度及穩(wěn)定性。2．三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，保證測(cè)量過(guò)程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。 3．三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，使運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損。 4．長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)采用英國(guó)RENISHAW的自粘開(kāi)放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)接近，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性。5．控制系統(tǒng)采用英國(guó)RENISHAW的UCCLITE高速高精度自動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制。