技術(shù)參數(shù)行程范圍：X軸------500mm Y軸------600mm Z軸------400mm結(jié)構(gòu)型式：活動橋式傳動方式：柔性齒型同步帶+預載荷高精度空氣軸承長度測量系統(tǒng)：RENISHAW（英國）開放式光柵尺，分辨率為0.5 m機臺：高精度花崗巖平臺使用環(huán)境：溫度(20 2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m 溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min 120L/min整機尺寸：2.0mX1.7mX2.7m機臺承重：1000kg整機重量：1200kg