測(cè)定範(fàn)圍: X軸:100mm Z軸:50mm驅(qū)動(dòng)部真直度精度: 0.8μm/100mm驅(qū)動(dòng)部上下移動(dòng)量: 300mm驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜角度: ±45°測(cè)針追蹤角度: 向上:77° 往下:87°驅(qū)動(dòng)速度:測(cè)定速度:0.2~0.5mm/s回程速度:0.1~0.5mm/s,手動(dòng)可 測(cè)針上下作動(dòng):圓弧運(yùn)動(dòng)(R=375mm)測(cè)定力: 1~3gf(30mN)光學(xué)尺,分解能X軸0.05μm,Z軸0.2μm,Z2軸1μm指示精度:X軸:±(1+0.01L/100)μm Z軸:±(2+|4H|/100)μm,Z=測(cè)定高度(±25mm)測(cè)定倍率X軸:1,2,5,10,20,50,100,200倍Z軸:1,2,5,10,20,50,100,200倍數(shù)值輸出: RS-232C重量: 本體部:約116kg電源: ViaACadapter(100~240VAC,50/60Hz)