流量率（N2標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)）10SCCM-20SLM(8300)30SLM-100SLM(8350)控制范圍2%-100%F.S.響應(yīng)2秒以內(nèi)設(shè)定 2%F.S.（標(biāo)準(zhǔn)）精度 1.5%F.S.以內(nèi)重復(fù)性 1%F.S.以內(nèi)耐壓980KPa使用差壓49kPa-294kPa低差壓（可選）2-149kPa（不能運(yùn)用在8350）使用溫度0℃-50℃精度保證溫度15℃-35℃接頭9/16-18UNF、1/4Rc、1/4SWL、1/4VCR