MCV系列質(zhì)量流量控制器 適用于真空噴涂工業(yè)?Alicat的MCV質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計的。一個啟動截止閥是常閉的,并且保證一個大氣壓下氦氣最大泄露為1x10-9下有效的關(guān)閉。???MCV質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式專利技術(shù)。在速度和精度需要計算時,MCV所體現(xiàn)的完美的精度和響應(yīng)時間。????Alicat的MCV可以在響應(yīng)時間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時間可以大大的改良你的最終產(chǎn)品,并且?guī)椭懦`差。???每個MCV都是預(yù)先設(shè)定的30種校準氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過設(shè)備的按鍵或者RS-232來編程設(shè)定,使用RS-232可以通過一對線串聯(lián)最多26臺設(shè)備。???MCV供電電壓為12-30Vdc,單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232(可選PROFIBUS) 特點和優(yōu)點響應(yīng)時間50-100ms