PS-7（半導(dǎo)體工廠用）氣體檢測特點 帶有氣體采樣流量自動控制功能 LCD顯示，現(xiàn)場狀態(tài)一目了然 實現(xiàn)小型、輕量化 可簡單地更換傳感器和采樣氣路 帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能 可以設(shè)定多樣的維護模式 組合對應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等 實現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù) 符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格型號PS-7標(biāo)準(zhǔn)型附帶轉(zhuǎn)換器組件型檢測原理 定電位電解式、熱絲型半導(dǎo)體式、隔膜電流電池式 熱分解+定電位電解式采樣方式泵吸引式（0.5L/min吸引流量自動控制）采樣配管特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi)氣體濃度顯示液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖報警接點 氣體報警（1段以及二級）報警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面第1段ALARM1第1段ALARM1ALARM2顯示 流量降低報警堵塞指示顯示：流量顯示為低速運轉(zhuǎn)報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面FLOW顯示以及流量顯示為停止運轉(zhuǎn)狀態(tài) 傳感器故障報警/傳感器誤插入報警報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面SENS.顯示 熱分解爐斷線報警報警：黃色LED指示燈閃爍：液晶畫面CONV.顯示外部輸出氣體濃度模擬輸出DC4~20mA（與電源的負(fù)極通用）氣體報警接點（1段以及兩極）1a無電壓接點/自動復(fù)位故障報警接點（開路集電極/自動復(fù)位）適合電纜線控制用屏幕電纜線（ 8~11mm）x23芯或者4芯使用溫度濕度范圍0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露）使用電源DC24V 10%消耗電力約7w尺寸 W62xH124xD143mm(除去突起物) W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物)重量約1.0kg安裝方法壁掛式