?羅茨泵的前級抽速:
S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)11、漏率:
Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)
V-系統(tǒng)容積(l)
P1-真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)
P2-真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)
t-壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)
12、粗抽泵的抽速選擇:
S=Q1/P預(yù) (l/s)
S=2.3V·lg(Pa/P預(yù))/t
Q1-真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)
P預(yù)-需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)
V-真空系統(tǒng)容積(升)
t-達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間
Pa-大氣壓值(托)
13、前級泵抽速選擇:
排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界
值,選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等的原則有:
PnSg≥PgS 或
Sg≥Pgs/Pn
Sg-前級泵的有效抽速(l/s)
Pn-主泵臨界前級壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)
Pg-真空室最高工作壓強(qiáng)(托)
S-主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)
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