?抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0）
12、熱偶真空計
利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
13、電離真空計（又收熱陰極電離計）
由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根
據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
14、復合真空計
由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10Pa。 -5
15、冷陰極電離計
陽極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內形成潘寧放電產生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強
的真空計。
16、電阻真空計
利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
17、麥克勞真空計（壓縮式真空計）
將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空
計。
18、B－A規(guī)
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細絲，放在柵網中心，燈絲放在柵網外面，因而減少軟X射線影響，延
伸測量下限，可測超高真空。
19、水環(huán)真空泵
泵的葉輪轉子旋轉而產生水環(huán)。由于轉子偏心旋轉而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進行抽氣的
機械真空泵。
20、往復真空泵
利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵。
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