束管真空抽氣設(shè)備干式真空泵

干式機(jī)械泵，束管真空抽氣設(shè)備，礦用真空泵，干式真空泵，無油干式機(jī)械真空泵

干式真空泵主要有下列幾種形式：1、干式螺桿真空泵??2、?無油往復(fù)真空泵

???????????????????????????3?、爪式真空泵????4、?無油渦旋真空泵

????今天我們說的束管真空抽氣設(shè)備干式真空泵，故名思義，就是用于抽空束管監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中束管里的物質(zhì)的，大家都知道，束管監(jiān)測(cè)系統(tǒng)主要就是監(jiān)測(cè)礦井下氣體濃度的主要裝置，它是監(jiān)測(cè)員工能否正常在井下生存的重要指標(biāo)，束管，做為檢測(cè)氣體的輸送管路它的重要性也不言而喻，干式真空泵就是抽離管路里不必要的物質(zhì)，讓監(jiān)測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確。

????干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：?

1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；?

2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；?

3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；?

4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；?

5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。