加工定制:是分辨率:0.001（mm）測量行程:200*100（mm）放大倍率:20-120X操作方式:程序控制MODELRS-1510RS-2010RS-2515RS-3020RS-4030RS-5030(X/Y/Z軸)量測行程(mm)150*100*100200*100*175250*150*175300*200*175400*300*175500*300*175外形尺寸540x560x850540x560x850760x600x900760x600x900970x670x940970x770x940機(jī)臺(tái)底座高精度花崗石底座及立柱照明系統(tǒng)表面光源與透射光源均用LED，亮度可調(diào)CCD高解析度日本索尼彩色CCDX,Y軸量測精度（3 L/150）um放大倍率Step Zoom光學(xué)放大率：0.7--4.5X，影像放大率：20--120X光學(xué)尺解析度1 um重復(fù)性2 um操作方式手動(dòng)電源供給110V/220V合適溫度，濕度溫度：19 --24 ，濕度：45%--75%保修期一年