采用低溫等離子分解氣體污染時(shí)，等離子體中的高能電子起決定性的作用。數(shù)萬(wàn)度的高能電子與氣體分子（原子）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過(guò)程使氣體處于活化狀態(tài)。電子的能量較低時(shí)，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)應(yīng)后被脫除。當(dāng)電子平均能量超過(guò)污染分子化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鍵斷裂，污染物分解。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各種類(lèi)型的化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于電子的平均能量、電子密度、氣體溫度、污染物氣體分子濃度及共存的氣體成分。