(3)采用后備措施

　　① 手動后備

　　對于重要的控制回路，可以采用手動后備的方法來提高可靠性。一旦自動控制失靈，用手動操作站直接進行操作，在這種情況下，手動操作站直接輸出4～20mA或1～5V的模擬量信號去控制執(zhí)行機構或直接接地進行設備的操作，可以手動控制生產過程。

　?、?自動后備

　　自動后備是采用冗余的方式設置另外一套或幾套備用控制裝置。當處于運行狀態(tài)的自動控制裝置發(fā)生故障時，備用控制裝置自動投入，維持系統的自動控制。自動后備是冗余系統的一種形式，冗余有主控單元冗余、電源系統冗余、網絡冗余、I/O模塊冗余、操作員站冗余、服務器冗余等。運行設備出現

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Omega Microprocessor Thermometer Model HH23, with Thermocouples, Case, Works

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IDI 1-139-033-FG PCB-M300 Controller Board

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SCP Global Temperature Controller VTEMP 0613718

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Dai Nippon Screen DNS Plate Arm 200MM Dia Wafer 2-F3-D0659 Alum for 8 in.

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Dai Nippon Screen DNS Lower Arm 200MM Dia Wafer 2-F390666 Alum for 8 in.

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Dai Nippon Screen DNS Lower Arm 200MM 2-F3-D0312

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Dai Nippon Screen DNS Plate Arm 8" for TR Unit 2-F3D0311

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AMAT Part No: 0020-34111 REV B, Plate, Leveling, Heater, Sealed

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AMAT Part No: 0020-34112 REV B, Plate, Reference Indicator, Sealed

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LAM Ring 716-330915-003 REV. E , Sealed

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LAM Ring 716-443179-102 REV. F , Sealed

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LAM Gas Assembly 839-024371-100 Rev D

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LAM Gas Assembly 853-170181-100-?100 Rev A

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LAM Seal Ring 715-11535-1 Refurbished

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LAM R, Edge, Hot 715-443178-001

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Semi Tool 1681 8A Printed Circuit Board PCB

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Dispense Head HDPE DH55 Coded 02-Ammonium Persulphate

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