無塵無菌室 無塵無菌室設(shè)計 無塵無菌室施工 廈門閩臺盛 無塵室根據(jù)潔凈程度不同分很多等級 目前各半導(dǎo)體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多 數(shù)字越小,潔凈等級越高 1000級的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆 100級的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過100顆 注意了,每個等級所管控的顆粒大小也不一樣 依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。 無塵室等級，無塵室標(biāo)準(zhǔn)，無塵室標(biāo)準(zhǔn)定義 一、無塵室定義 將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及 粒子，且指一般空氣清凈機(jī)無法完全清除之灰塵。 無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用BiologicalCleanRoo （BCR）。