4156C精密半導體參數(shù)測試儀是Agilent下一代的精密半導體參數(shù)測試儀,4156C為高級器件表征提供了高精度頂級參數(shù)分析的實驗室平臺。較高的低電流、低電壓分辨率和內置準靜態(tài)CV測量能力,4156C還為以后和其他的測量儀器的擴展使用提供了堅實的基礎。41501B擴展測量能力到1A/200V,并給4156C增加一個低的噪聲接地單元和雙脈沖發(fā)生器。4156C是基于PC的參數(shù)分析和表征的解決方案,標準配置包括一個參數(shù)分析儀,AgilentI/CV3.0Lite自動測試軟件,WindowsXPProfessional的操作系統(tǒng)。I/CV3.0Lite軟件可以提供一個圖形操作界面,具有強大的分析工具,探針臺驅動,和自動測試工具。 特性 4156C提供4個內置的高分辨率的源/監(jiān)控單元(HPSMUs),兩個電壓源單元(VSUs)和兩個電壓監(jiān)控單元(VMUs) 1fA和0.2uV的測試精度可滿足開發(fā)新工技術和評價材料 全Kelvin,每個HRSMU有激勵源、感應和接地端 完成準靜態(tài)的電容對電壓測試 自動提取處理參數(shù)而不需要人工操作屏幕光標 用極低泄漏的SMUs測量特有泄露特性 用集成的脈沖發(fā)生器和選擇開關自動完成器件表征 用內置的應力模式完成晶片的可靠性測試 用圖形用戶界面完成 點擊 測試 基于Windows環(huán)境的圖形數(shù)據(jù)分析能力 旋鈕掃描功能可以快速檢驗探針是否接觸正常 待機模式不需要外部電源 觸發(fā)模式可以同步AC/DC測試。 IBASIC用戶功能可以繪圖和分析數(shù)據(jù)。